光學微電子凈化廠房

光(guang)學微(wei)電子凈化(hua)工程

光學微電(dian)子凈化工程之(zhi)定義為(wei)將一定空(kong)間范圍(wei)內之(zhi)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)中的微塵(chen)粒子、有害空(kong)氣(qi)(qi)(qi)、細菌等之(zhi)污染物(wu)排除，并將室(shi)內之(zhi)溫濕度(du)、潔凈度(du)、室(shi)內壓力、氣(qi)(qi)(qi)流(liu)速度(du)與(yu)氣(qi)(qi)(qi)流(liu)分布、噪(zao)音震動及照明(ming)、靜電(dian)控制(zhi)在某(mou)一需求(qiu)范圍(wei)內，而所給于特別設計之(zhi)密閉空(kong)間。

光(guang)學微(wei)電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已(yi)是(shi)半導(dao)體、精(jing)(jing)密(mi)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)、液(ye)晶制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)、光(guang)學制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)、線路板制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)和生物化學、醫藥、食品(pin)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)等行業*的重(zhong)要設施。近(jin)幾(ji)年來(lai)，由于技術之(zhi)創新發展，對于產品(pin)的高精(jing)(jing)密(mi)度化、細小(xiao)型化之(zhi)需求更(geng)為迫切，如超(chao)大型積體電路之(zhi)研(yan)究制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)，已(yi)成為世(shi)界各國在科技發展上極為重(zhong)視的項目

1、 潔(jie)凈生(sheng)產區

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用(yong)房、物料(liao)凈化用(yong)室和部分生活(huo)用(yong)室等）

3、 管(guan)理區（包括辦公、值班、管(guan)理和(he)休(xiu)息(xi)等）

4、 設(she)備區（包括凈化空調系統(tong)應(ying)用、電氣用房、高純水(shui)和高純氣用房、冷熱設(she)備用房）

光學(xue)微電子凈(jing)化(hua)工程凈(jing)化(hua)原(yuan)理

氣流(liu)→初效(xiao)凈(jing)化→空調(diao)→中(zhong)效(xiao)凈(jing)化→風(feng)機送風(feng)→管道→凈(jing)化風(feng)口→吹入房間→帶走塵(chen)埃細菌等顆粒 → 回風(feng)百葉(xie)窗→初效(xiao)凈(jing)化 重(zhong)復以上過(guo)程，即可達到(dao)凈(jing)化目的。

光(guang)學微電子凈化工程(cheng)凈化參數

換氣次(ci)數(shu)：100000級≥15次(ci)；10000級≥20次(ci)；1000≥30次(ci)。壓差：主車間對相鄰(lin)房間≥5Pa

平均(jun)風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季(ji)＞16℃；夏季(ji) ＜26℃；波動±2℃。

溫度(du)(du)45－65％；GMP粉劑(ji)車(che)間濕度(du)(du)在50％左右為宜；電子車(che)間濕度(du)(du)略高以(yi)免(mian)產生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。

 

光學微電子行業凈(jing)化工程設計(ji)方(fang)案分(fen)析之無(wu)塵車間的特點

A、無(wu)塵車間(jian)的(de)潔凈度:

LCD制屏的(de)簡略(lve)流程為(wei)：清洗→印刷取(qu)向(xiang)膜→磨擦→密(mi)封(feng)印刷層(ceng)散布隔墊物→組合(he)→劃(hua)線和切割→LC注入→貼偏振(zhen)片→制屏終檢(jian)。

在本設計里(li)是指末端工藝的一些(xie)無塵(chen)車(che)間(jian)，其凈(jing)化潔凈(jing)度一般為千(qian)級(ji)或(huo)(huo)萬(wan)級(ji)或(huo)(huo)十(shi)(shi)萬(wan)級(ji)。背(bei)光屏類(lei)無塵(chen)車(che)間(jian)主要(yao)是這類(lei)產品的沖壓車(che)間(jian)、組(zu)裝(zhuang)等(deng)無塵(chen)車(che)間(jian)，其潔凈(jing)度一般為萬(wan)級(ji)或(huo)(huo)十(shi)(shi)萬(wan)級(ji)。

B、室內空氣參數要(yao)求(qiu) ：

(1)溫濕度(du)(du)要求：溫度(du)(du)一般為24+2℃，相對濕度(du)(du)為55+5%。

(2)新風量(liang)(liang)大。由于這類車間內(nei)(nei)(nei)(nei)，人員比較多(duo)，可(ke)以(yi)根據以(yi)下(xia)(xia)數值應取下(xia)(xia)列的(de)(de)大值：非單向流潔(jie)凈室(shi)總送(song)風量(liang)(liang)的(de)(de)10-30%;補(bu)償室(shi)內(nei)(nei)(nei)(nei)排(pai)風和保(bao)持室(shi)內(nei)(nei)(nei)(nei)正壓值所需的(de)(de)新鮮(xian)空氣(qi)量(liang)(liang);保(bao)證室(shi)內(nei)(nei)(nei)(nei)每(mei)人每(mei)小(xiao)時的(de)(de)新鮮(xian) 空氣(qi)量(liang)(liang)≥40m3/h。

(3)送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)大。為(wei)了(le)滿足潔凈室(shi)內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)，就(jiu)300平方(fang)米(mi)(mi)的車間，吊頂(ding)高(gao)度為(wei)2.5米(mi)(mi)的，如(ru)果是(shi)萬(wan)級，送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)就(jiu)需要300×2.5×30=22500m3/h的送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(換氣次(ci)數，是(shi)≥25次(ci)/h);如(ru)果是(shi)十(shi)萬(wan)級，送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)就(jiu)需要300×2.5×20=15000m3/h的送(song)風(feng)(feng)量(liang)(liang)(換氣次(ci)數，是(shi)≥15次(ci)/h)。